Химиявӣ барои равандҳои нимноқилҳо

Истеҳсоли нимноқилҳо асосан як раванди аз ҷиҳати кимиёвӣ алоқаманд аст, ки то 20% марҳилаҳои раванд тозакунӣ ва омодасозии сатҳи пластинка мебошанд:

Мо одат кардаем, ки ба маводи кимиёвӣ, ки дар истеҳсоли вафли истифода мешаванд, ҳамчун кимиёвии равандҳо, ки дар шаклҳои гуногуни кимиёвӣ (моеъ ва газ) омадаанд ва аз ҷиҳати тозагӣ ба таври қатъӣ назорат карда мешаванд.Вазифаҳои асосии ин кимиёвии равандҳо инҳоянд:

Сатҳи вафлиро бо маҳлули кимиёвии тар ва оби ултра тоза тоза кунед;

Вафли кремнийро бо ионҳои энергияи баланд барои ба даст овардани маводи кремнийии навъи P ё N;

Дар байни қабатҳои ноқилҳо гузоштани қабатҳои гуногуни ноқилҳои металлӣ ва қабатҳои зарурии диэлектрикӣ;

Қабати тунуки SiO2-ро ҳамчун маводи асосии диэлектрикии дастгоҳҳои MOS тавлид кунед;

Барои ба таври интихобӣ хориҷ кардани мавод ва ташаккул додани намунаи дилхоҳ дар плёнка аз плазма ё реагентҳои тар истифода баред;

Реагентҳои тозагии моеъ ба се синф тақсим мешаванд: UP-S, UP ва EL аз рӯи тозагии худ ва EL боз ба зерин тақсим мешавад:

Синфи электронии 1 (EL-Ⅰ)
дорои ифлосшавии металлҳои 100-1000 PPb мебошад, ки ба стандарти SEMI C1 C2 баробар аст;

Синфи электронӣ 2 (EL-Ⅱ)
миқдори наҷосати металлии он 10-100 PPb аст, ки ба стандарти SEMI C7 баробар аст;

Синфи электронии 3 (EL-Ⅲ)
дорои миқдори наҷосати металлии 1-10 PPb мебошад, ки ба стандарти SEMI C7 баробар аст;

Синфи электронии 4 (EL-IV)
дорои миқдори наҷосати металлии 0,1–1PPb мебошад, ки ба стандарти SEMI C8 баробар аст;

Реагентҳои ултра тоза ва тозаи баланд дар сатҳи байналмилалӣ бо номи кимиёвии коркард маълуманд ва инчунин бо номи кимиёвии тар маълуманд ва яке аз маводи асосии кимиёвӣ дар раванди истеҳсоли микросхемаҳои интегралӣ (IC) ва микросхемаҳои интегралӣ (VLSI) мебошанд. .Он инчунин барои тоза кардан ва кашидани сатҳи вафли кремний истифода мешавад.Тоза ва тозагии реактивхои ультратоза ва баландпоя ба хосилнокй, хосиятхои электрики ва эътимоднокии схемахои интегралй таъсири хеле калон мерасонад.Бисёр навъҳои кимиёвии дараҷаи электронӣ ва талаботи баланди техникӣ мавҷуданд.Он ба инкишофи технологияи микроэлектроника асос ёфтааст.Бо рушди технологияи микроэлектроника, он синхронӣ ё пеш аз вақт инкишоф меёбад.Дар айни замой инкишофи технологияи микроэлектроникаро махдуд мекунад.